[画像1: https://prcdn.freetls.fastly.net/release_image/131932/15/131932-15-1f2c9f9a6d2bd597e2d190d20cc91a73-700x700.jpg?width=536&quality=85%2C75&format=jpeg&auto=webp&fit=bounds&bg-color=fff ]
■ 従来のカメラとエキシマレーザ
ArF（193nm）、KrF（248nm）エキシマレーザは、半導体露光、レーザ微細加工、材料表面改質、光学評価などに広く用いられていますが、これらの波長域は一般的なCMOSセンサの感度保証範囲外であり、通常の産業用カメラでは原理的に検出が困難です。そのため従来は蛍光板や変換素子を介した間接観測に頼るしかなく、下記のような問題が挙げられていました。
- 空間分解能の劣化
- 定量評価の難しさ
- パルス間挙動の観測不可
- 光学アライメントの不確実性
■ Photonfocus UVカメラの本質的な違い ― センサ構造
PhotonfocusのUVカメラは、汎用イメージセンサをベースとした製品ではありません。深紫外の光子をシリコン表面で効率よく検出することを目的に設計された、独自のUV専用センサを採用しています。このセンサは下記のような特徴を持ち、200nm以下の波長を直接検出可能としています。
- 表面構造の最適化によるDUV光子の吸収効率向上
- UV透過性を考慮したパッシベーション設計
- UVグレードQuartzウィンドウの採用
- DUV領域における感度特性の最適化
これは、一般的なCMOSセンサでは想定されていない波長領域です。
[画像2: https://prcdn.freetls.fastly.net/release_image/131932/15/131932-15-89ad778aef082f5cb138176479a9c73a-2000x900.png?width=536&quality=85%2C75&format=jpeg&auto=webp&fit=bounds&bg-color=fff ]
■ なぜ200nm以下は難しいのか
200nm以下の光は、以下の理由から汎用センサでは事実上検出できません。
- シリコン表面の極浅い領域で吸収される
- 通常の保護膜・パッシベーション層で減衰する
- 標準的なセンサ窓材では透過しない
PhotonfocusのUVセンサは、これらの物理的制約を前提に設計されています。
■ エキシマレーザ評価で得られる具体的メリット
本カメラを用いることで、以下が直接観測可能になります。
- ArFレーザ（193nm）のビームプロファイル
- KrFレーザ（248nm）の空間分布
- パルスごとの強度分布変動
- 石英レンズ・ミラーを含むDUV光学系の透過・反射評価
- UV照射位置の高精度アライメント
- 材料表面へのDUV照射分布の可視化
蛍光板を介さないため、本来の空間分解能と定量性が維持されます。
■ 想定分野
- 半導体露光装置メーカー
- エキシマレーザ装置メーカー
- UVレーザ加工装置
- 石英光学部品メーカー
- 大学・研究機関におけるDUV光学研究
■ 導入のメリット
DUV光は「見えない前提」で扱われてきました。しかしPhotonfocus UVカメラは、この前提を覆し、200nm以下を直接・リアルタイムに・定量的に可視化する手段を提供します。これにより、光学調整、装置立ち上げ、評価工程の精度と再現性が大きく向上します。
■ カメラ仕様
[表: https://prtimes.jp/data/corp/131932/table/15_1_efcce53e9295ee242ed65ad67ab42a9e.jpg?v=202601270945 ]
Photonfocus AG（フォトンフォーカス）
スイス・ラッヘンに本社を置く産業用カメラメーカーで、高速ビジョン・3Dビジョン・UV／SWIR分野で20年以上の実績を有します。自社開発センサを用いたカメラ設計と、産業装置メーカーへの長期供給体制を強みとしています。
公式サイト：https://www.photonfocus.com
APROLINK（株式会社アプロリンク）
千葉県船橋市を拠点とする産業用画像処理機器の専門商社です。国内外最先端の画像処理・センシング機器（X線、UV、赤外線、SWIR、3Dカメラ、高速カメラなど）を取り扱い、情報提供から機器の貸出、機器の導入、導入後のサポートまで一貫して行っています。
公式サイト：https://www.aprolink.jp
■ お問い合わせ・デモ依頼
株式会社アプロリンク
〒273-0025 千葉県船橋市印内町568-1-2
TEL：047-495-0206
E-mail：sales@aprolink.jp
製品情報：https://www.aprolink.jp/products/uv
