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開所式の様子 左からOEG環境事業部長 棗田次郎、OEG代表取締役社長 大場宏之OKI西横手工場長 谷中真澄
OKIグループで信頼性評価と環境保全の技術サービスを展開するOKIエンジニアリング（社長：大場 宏之、本社：東京都練馬区、以下OEG）は、2025年7月4日に群馬県高崎市に化学分析拠点「高崎ラボ」を開設し、半導体製造ライン向け化学分析サービスの提供を開始します。本サービスは、クリーンルーム内の空気や製造工程で使用される薬液の不純物の種類と量を分析するもので、定期的な分析や緊急時の分析に対応し、2025年度に5,000万円の売上を目指します。
生成AIの急激な進化と普及により半導体はさらなる微細化・高積層化が進み、製造ラインのより厳密な化学物質管理が求められています。クリーンルーム内の空気の汚染や製造工程で使用する薬液中への不純物の混入は、半導体の品質に深刻な影響をおよぼす可能性があります。これらの問題は、主に製造後の検査によって判明するため、定期的な分析と異常検知時の迅速な復旧が不可欠ですが、分析技術を自社で保有していない場合や、技術を保有していても維持管理コストが高いため、外部委託を希望する企業が増加しています。しかし、近隣に迅速な対応が可能な化学分析ラボがない場合、稼働再開が大きな課題となっています。
このたび、OEGは半導体工場が集積する北関東地域で、半導体品質に影響をおよぼす不純物に特化した化学分析サービスを開始します。「高崎ラボ」では、高度な化学分析技術を持つ専門技術者が、半導体製品の品質維持に不可欠なクリーンルーム内の空気中微量化学成分（イオン成分など）の濃度測定や、工程で使用する酸、アルカリ、有機溶剤などに混入した不純物の分析を実施します。さらに、対面での技術相談や試料の直接受け渡し、緊急対応など、地域密着型ならではのサービスを提供することで、北関東地域の半導体工場の安定した製造とコスト削減に貢献するとともに、より高度な品質管理をサポートします。
当面は高崎市および周辺地域の半導体工場を対象にサービスを提供します。OEGはこれまで半導体部品の信頼性向上・品質向上に貢献する評価・解析技術を提供してまいりました。今後は半導体関連サービスも含めた設備の増強および、隣接する長野県や新潟県などへのサービス地域の拡大も予定しています。
「高崎ラボ」の概要
所在地：群馬県高崎市西横手町1−1（沖電気工業株式会社 西横手工場内）従業員数：2名（2025年7月4日現在）
主な分析設備：・濃縮イオンクロマトグラフ(注1)
・ICP発光分光分析装置(注2)
販売計画
標準価格：個別見積販売目標：年間5,000万円（2025年度）
サービス提供開始時期：2025年7月4日
用語解説
注1：濃縮イオンクロマトグラフイオンクロマトグラフは、イオン交換樹脂を用いて混合溶液中のイオン成分を分離・定量する分析装置です。主に水溶液中の微量イオン分析に利用され、高い選択性と感度をもっています。本装置は、濃縮装置を備え、より高感度な分析が可能な仕様となっています。
注2：ICP発光分光分析装置
ICP発光分光分析装置は、水溶液中の金属元素量を高感度に定量する装置です。
水溶液中の金属元素をプラズマで励起させると、励起状態から標準状態に戻るときに発光します。その発光波長と発光強度から、水溶液中の金属元素量を定量します。
リリース関連リンク
クリーンルーム空気環境測定紹介サイト薬液不純物分析紹介サイト
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